小型真空熱處理爐是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
主要是利用氣體作為冷卻介質的，可以充入爐內作為工件淬火冷卻介質的氣體主要有：氮、氫、氬以及氦等等。如果從冷卻速度來看的話，對上述的氣體冷卻時間進行比較，假設氫的冷卻時間是1，那么氦是1.2，氮是1.5，氬是1.75，這樣看的話，氫的冷卻速度快，但是，如果從安全的角度來看的話，氫有爆炸的危險，氦的冷卻速度較快，但是價格昂貴，氬的價格也是比較高的，并且冷卻速度低，所以，一般都是使用高純氮作為工件淬火的冷卻介質。當然，如果是根據被處理工件材料的要求，例如鐵合金和氮接觸有氮化的危險，就需要使用氬氣作為冷卻介質。
小型真空熱處理爐工藝特點：
金屬熱處理是機械制造中的重要工藝之一，與其他加工工藝相比，熱處理一般不改變工件的形狀和整體的化學成分，而是通過改變工件內部的顯微組織，或改變工件表面的化學成分，賦予或改善工件的使用性能。其特點是改善工件的內在質量，而這一般不是肉眼所能看到的。
為使金屬工件具有所需要的力學性能、物理性能和化學性能，除合理選用材料和各種成形工藝外，熱處理工藝往往是*的。鋼鐵是機械工業中應用廣的材料，鋼鐵顯微組織復雜，可以通過熱處理予以控制，所以鋼鐵的熱處理是金屬熱處理的主要內容。另外，鋁、銅、鎂、鈦等及其合金也都可以通過熱處理改變其力學、物理和化學性能，以獲得不同的使用性能。
