真空退火爐一般都是以碘鎢燈管為發熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測溫并采用的模糊PID控制，具有高的控溫精度，具有真空裝置，可在多種氣氛下工作，大大提高了其使用范圍。
真空退火爐主要由爐體、爐膽、爐蓋及抽真空裝置和溫控系統組成。爐體外殼由型鋼及鋼板焊接而成，內用硅酸鋁耐火纖維模塊、超輕質高鋁泡沫磚砌筑成爐膛。波紋帶狀加熱元件通過高鋁瓷釘固定于爐襯棉上。爐膛內有一耐熱板密焊而成的爐膽，被處理工件安放在爐膽內。在爐蓋上裝有通風機，用來強制氣流循環，以使爐內溫度和氣體均勻。爐蓋與爐膽口法蘭密封連接，爐蓋上連接真空裝置。溫控系統采用PID可編程控制，具有超溫報警，故障自診斷等功能。
真空退火爐的維修注意要點說明：
1.爐子長時間不用要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。
2.爐膛若采用石英管當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正常現象。
3.檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
4.真空退火爐使用過一段時間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統，以提高系統的整體真空度。
5.爐子工作時一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現溫度顯示值與程序給定值不符或擺動過大，檢查參數“M5、P、t”設置是否準確。
